研磨抛光机技术

分享到:
1279
下一篇 >

  对于以单晶硅为代表的半导体基板、产业陶瓷及光学玻璃等硬、脆材料的高精度加工,现在一般采用游离磨粒研磨及抛光法。但是,这些加工方法在得到高精度镜面的同时也带来了加工效率低和环境污染等诸多的题目。为了解决这些题目,现在国外厂家逐渐淘汰原来的游离磨粒研磨及抛光工艺,开始引进微粒金刚石砂轮的磨削和磨粒固定的超精密平面研磨工艺 。平面研磨因为研磨轮和工件面接触,磨粒的有效切削数较多,可以得到高的表面精度及加工效率。但是,因为冷却液对加工点的供给难题,砂轮轻易形成堵塞;磨粒的切削深度小而切削长度增加,引起磨粒切削刃磨损;冷却液形成的动压分布及其浮力的作用也影响研磨加工的质量

  。

  为了进步加工精度和减少研磨轮磨损 ,对研磨加工过程中的加工参数进行分析。针对目前常用的两种不同结构砂轮 (放射线研磨轮以及螺旋线研磨轮 ) ,采用加工精度系数和砂轮磨损系数的概念描述加工精度与砂轮磨损 ,并提出相应的数学模型 ,以分析加工参数与工件精度及研磨轮磨损的关系。着重探讨了研磨轮与工件相对速度变化对加工精度的影响。通过理论分析与实践表明 :优化设计砂轮的结构、公道选择加工参数 ,可以实现进步研磨加工精度及降低砂轮磨损的目的。

  平面研磨技术已被广泛应用于超精密加工中,它可加工出粗拙度Ra 为0 .0 1~0 .0 2 μm的镜面。诸如量块、光学平面、集成电路的硅基片等硬脆零件,*后都是用超精密研磨抛光机得到要求的高质量表面。其枢纽是如何进步效率、加工精度,降低本钱。

  为了改善冷却液工作状态,减小加工动压的影响,现在研磨轮多数采用了开槽式结构设计 。但是,对于研磨轮表面结构和研磨加工精度、粗拙度之间关系的研究还没有一个定性的研究结论。本文主要研究超精密平面研磨加工中,微粒金刚石研磨轮的不同沟槽结构及加工速度变化对加工面精度的影响。

  为了进步加工精度和减少研磨轮磨损 ,对研磨加工过程中的加工参数进行分析。针对目前常用的两种不同结构砂轮 (放射线研磨轮以及螺旋线研磨轮 ) ,采用加工精度系数和砂轮磨损系数的概念描述加工精度与砂轮磨损 ,并提出相应的数学模型 ,以分析加工参数与工件精度及研磨轮磨损的关系。着重探讨了研磨轮与工件相对速度变化对加工精度的影响。通过理论分析与实践表明 :优化设计砂轮的结构、公道选择加工参数 ,可以实现进步研磨加工精度及降低砂轮磨损的目的。

  对于以单晶硅为代表的半导体基板、产业陶瓷及光学玻璃等硬、脆材料的高精度加工,现在一般采用游离磨粒研磨及抛光法。但是,这些加工方法在得到高精度镜面的同时也带来了加工效率低和环境污染等诸多的题目。为了解决这些题目,现在国外厂家逐渐淘汰原来的游离磨粒研磨抛光机工艺,开始引进微粒金刚石砂轮的磨削和磨粒固定的超精密平面研磨工艺 。平面研磨因为研磨轮和工件面接触,磨粒的有效切削数较多,可以得到高的表面精度及加工效率。但是,因为冷却液对加工点的供给难题,砂轮轻易形成堵塞;磨粒的切削深度小而切削长度增加,引起磨粒切削刃磨损;冷却液形成的动压分布及其浮力的作用也影响研磨加工的质量

  。

  为了改善冷却液工作状态,减小加工动压的影响,现在研磨轮多数采用了开槽式结构设计 。但是,对于研磨轮表面结构和研磨加工精度、粗拙度之间关系的研究还没有一个定性的研究结论。本文主要研究超精密平面研磨加工中,微粒金刚石研磨轮的不同沟槽结构及加工速度变化对加工面精度的影响。

  平面研磨技术已被广泛应用于超精密加工中,它可加工出粗拙度Ra 为0 .0 1~0 .0 2 μm的镜面。诸如量块、光学平面、集成电路的硅基片等硬脆零件,*后都是用超精密双面研磨抛光机得到要求的高质量表面。其枢纽是如何进步效率、加工精度,降低本钱。

你可能感兴趣: 研磨抛光机 知识原理
无觅相关文章插件,快速提升流量