湿度传感器主要用于测量或控制气体的相对湿度或**湿度、露点等。也可以间接地控制温度。下面对其典型应用作一介绍。
(一)在湿度测量系统中的应用
(1)在70℃以下(通常在-40℃以上)时，若环境较干净，则使用高分子传感器，污染严重的使用陶瓷传感器(加热清洗再生型)。由于它存在加热清洗过程，不能连续测量，且耗能较大(1～10W)。但寿命长，使用时可选加热清周期较长的传感器，如氯氧基磷灰石陶瓷传感器，2～3个月洗一次，此外，内热式比外热型耗能低。
(2)在70～100℃范围内测湿度，使用具有加热清洗的陶瓷传感器，为提高精度可进行线性及温度补偿。为了实现更高精度则要配以微机.在高温高湿时需频繁地加热清洗，如80% RH以上时，需30S清冼一次，*好装有自动加热清洗装置。
(3)在100～150℃范围内测湿度，在国际上，大都采用陶瓷湿度传感器制作高温湿度仪。
(二)在工业过程自动控制中的应用
为了改善产品的质量和节能，通常在产品干燥系统、反应堆的湿度控制、锅炉水蒸气的漏泄检测、集成电路或磁头加工厂的空调等大都使用陶瓷湿度传感器进行控制;各种空调系统、医疗系统的湿度控制可采用高分子或陶瓷湿度传感器进行。
(三)在蒸汽检漏系统中的应用
在火力发电站、原子能电站、蒸汽机车、锅炉等高温高压设备中，为了预防漏气，防止人身事故，可使用湿度传感器进行检漏。
(四)在其他系统中的应用
在家电中结露传感器可用作磁带录像机结露检测，汽车车窗结露、结霜检测等。
湿度传感器的应用推动了对微电子电路封装故障机制的分析，因集成电路失效与湿度有很大关系。美国麻省理工学院把微湿传感器装在芯片上，对其失效进行早期报警实验成功。为了确保**器件的高可靠性，Panamclrics公司把微湿传感器封装在集成电路壳体内，检测其早期失效。
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