数显式压力开关基本原理

分享到:
点击量: 218994

  数显式压力开关基本原理

  该压力开关的探头是利用单晶硅的压阻效应原理制成的。单晶硅材料在受到力的作用后,其电阻率要发生变化,而且,在不同的晶向上电阻率的变化不同。利用半导体平

  面工艺在单晶硅片的不同方 向上制作出4只电阻应变计,并连接成一个 惠斯通 电桥(如图l所示 )。通过合理的设计,使得当单晶硅片受到压力作用时,电桥一个对臂的2只电阻应变计的阻值增大,另一个对臂上的2只电阻应变计的阻值减小,这样,电桥在一定电源激励下,电桥的输出端就会输出一个与被测压力成一定比例关系的电压信号。