GTW718_真空排气气体过滤器_TAIYO太阳铁工 GTW718

GTW718_真空排气气体过滤器_TAIYO太阳铁工

GTW718_真空排气气体过滤器_TAIYO太阳铁工

GTW718_真空排气气体过滤器_TAIYO太阳铁工

GTW718_真空排气气体过滤器_TAIYO太阳铁工

半導体・液晶製造装置用真空排気ガスフィルター「マルチコレクター」
半導体製造装置の真空排気系では、生成物質により配管が短期間で閉塞、マルチコレクターは、長期間の安定操業を可能にしました。
【特長】
マルチコレクタ内で反応生成物を成長促進させます。
捕捉面積の大きなプリーツ状カートリッジを採用しています。
長期間メンテナンスフリーを実現。
カートリッジは、電着効果 を持たせていますので、サブミクロンの粒子も逃しません。
マルチコレクターの後段の配管のメンテナンスは、長期間不要。
PCVD装置、エッチング装置、イオン注入装置のドライ真空ポンプ前段又は後段に設置し、真空排気系のトラブルを低減します。
冷却ユニットを設置する事により、生成物を強制析出させ、カラムライフを飛躍的に延ばします。
【主な用途】
PCVD装置の真空、排気ラインのトラブル防止
エッチング装置の排気側ラインの配管閉塞防止
液晶製造装置の排気側ラインの配管閉塞防止
イオン注入装置、PCVD装置の真空ポンプの安定稼動
排ガス除害装置の寿命の安定化
【備考】
テスト機の貸出しできます。詳細はお問い合わせください。
**免费咨询**：4008-933-365