TPY-1 型椭圆偏振测厚仪 TPY-1 型
产品简介
在近代科学技术的许多领域中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此,更加**和迅速的测定给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中可以利用各种传统的方法测定光学参数,如:布儒斯特角法测介质膜的折射率,干涉法测膜厚,其它测膜厚的方法还有称重法、X射线法、电容法、椭偏法等。
产品详细信息
产品特点:
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及方便测量等特点;
光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高;
仪器配有生成表、查表以及**计算等软件,方便用户使用。
规格与主要技术指标:
测量范围:薄膜厚度范围:1nm-300nm;折射率范围:1.05-2.50
测量*小值:≤1nm 入射光波长:632.8nm 光学中心高:80mm
允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤18mm
偏振器方位角范围:0°- 180°读取分辨率为0.05°
外形尺寸:680*390*320mm
测量膜厚和折射率重复性精度分别为:±0.5nm和±0.005
主机重量:25kg 入射角连续调节范围:30°- 90°精度为0.05°
成套性:主机、电控系统、计算软件