上海祥树欧茂机电设备有限公司优价销售美国MKS流量控制阀
π系列金属密封压力不敏感数字质量流量控制器
πMFC是新一代压力不敏感数字质量流量控制器。实时高精度流量控制是基于先进的数字算法技术，能有效地避免因压力波动而造成的流量不稳。πMFC广泛地应用于诸如半导体和薄膜生产工艺等高精度、高纯度气体系统。πMFC集成压力传感器并显示压力等读数，各种模拟和数字通讯口可选。
ALTA®系列金属密封数字质量流量控制器
ALTA®1480A/180A数字质量流量控制器/质量流量监视器，满量程范围从10sccm– 30slm
ALTA®MC20A数字质量流量控制器，满量程范围从20 – 300slm
MASS-FLO®系列金属密封质量流量控制器
1479A/179A质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从10sccm–20slm，各种模拟和数字通讯口可选。
M330B低压质量流量控制器，其满量程范围从5–100 sccm
M330H高温型(150℃）质量流量控制器，其满量程范围从10sccm – 40 slm
MASS-FLO®系列橡胶密封质量流量控制器
1179A/2179A质量流量控制器/带截至阀质量流量控制器，其满量程范围从10sccm–20slm，模拟和数字通讯口可选。
M100B/M10MB质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从10sccm–50slm
1559A/558A大流量质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从20– 200slm
1579A/579A大流量质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从50 – 300slm