UVW平台包括U轴、V轴和W轴三个工作轴。三个工作轴安装在同一层，通过协同运动，完 成工作台的平移和旋转，从而简化了工作平台的结构，降低了工作平台的厚度，具有结构紧 凑、角度转动精度高等优势，应用日益广泛。
特点：
采用了划时代性模组结构的超薄型平台
在基座、工作台之间的四端平面装上组合了MINI STAGE XYθ轴滑台组和特殊交叉滚柱轴承的模组之独特性，实现了超薄型结构。
高刚性、高精度
对于构成模组的MINI STAGE XYθ轴滑台组的特殊交叉滚柱施加了预压，达到高精度、高刚性的结构。
超薄型、轻量化、中空结构
采用XYθ模组化结构，实现了无中座、薄而轻的机构，可作为光学式检查装置或导通测试时使用。
润滑系统
在各种运动轨道加入润滑系统，确保润滑脂补充，提高对位平台使用的寿命及精度。
尺寸齐全 适用各种机型运用
工作台面尺寸口100mm~口1500mm，为了可以对应更大的精度荷载，可藉由增加从动模组之数量来达成。
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