·真空度测量范围： 9.999 × 10 -1 ～ 1 × 10 -5·离子电流测量范围： 9.999 × 10 -1 ～ 1 × 10 -7·测量误差： 10%·测量分辨： 10 -5 Pa·允许环境湿度： -20 度～ 50 度·空气湿度： < 85% RH·电源： AC 220V ± 10% 50Hz·外形尺寸： (430 × 300 × 215)mm 3·高压输出： 脉冲 30KV 15KHz