天光应变计厂
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半导体应变计的工作特点
半导体应变计是比较常用的机械传感器。这种应变计具有较好的温度稳定性、更好的线性度、更大的应变
范围和使用灵活(如易于附着在弯曲表面上)。其工作原理,除了几何效应以外,还有更为重要的所谓压阻效应。
当半导体应变计拉长或者缩短时,半导体的能带结构将发生变化,则导致电阻变化。半导体应变计主要是采用Si来制作,
常常采用扩散或者离子注入式的结构,这与IC工艺兼容。
半导体应变计为了提高灵敏度和线性度,往往采用p型半导体(不用n型半导体);而且为了提高温度稳定性,多半采用
高掺杂半导体(折中考虑灵敏度),从而提高了工作效率。
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