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半导体应变计的应用
半导体应变计安装在被测构件上，在构件承受载荷而产生应变时，其电阻率将发生变化。半导体应变计就是以
这种压阻效应作为理论基础的，其敏感栅由锗或硅等半导体材料制成。
这种应变计可分为体型(图5)和扩散型两种。
前者的敏感栅由单晶硅或锗等半导体经切片和腐蚀等方法制成，后者的敏感栅则是将杂质扩散在半导体材料中制成的。
半导体应变计的优点是灵敏系数大，机械滞后和蠕变小，频率响应高；半导体应变计缺点是电阻温度系数大，灵敏系数
随温度而显著变化，应变和电阻之间的线性关系范围小。正确选择半导体材料和改进生产工艺，这些缺点可望得到克服。
半导体应变计多用于测量小的应变(10-1微应变到数百微应变),已广泛用于应变测量和制造各种类型的传感器.
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