产品功能 1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能; 2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能; 3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能; 4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能; 5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能; 6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
结果组成 1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等; 2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等; 3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面; 4、薄膜和厚膜的台阶高度测量; 5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量; 6、微电子表面分析和MEMS表征。 形貌仪主要应用领域 1、用于太阳能电池测量; 2、用于半导体晶圆测量; 3、用于镀膜玻璃的平整度(Flatness)测量; 4、用于机械部件的计量; 5、用于塑料,金属和其他复合型材料工件的测量。
中图W1光学3D轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。