· 颠覆性的技术革新，致轻、致小，**实现了嵌入组装在半导体制造等装置中
· 2.83L/min，同时测试0.1、0.3μm微小粒子
· 4.3英寸彩色触摸显示屏
· 可使用附带软件在PC上显示测试数据
· 设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口
Kanomax 超小型粒子计数器3950-00
品 名
尘埃粒子计数器
型 号
3950-00
粒子测量
测试方法
光散射法
粒径通道
2粒径（0.1、0.3μm）
额定流量
0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4)
测量时间
6秒~99分59秒（1次测量时间）
间隔时间
6秒~99分59秒（测量周期）
采样次数
1~999次 或 连续测试
地点设定
99个地点
测量方式
重复、单次、连续、计算
测量数据显示时间
1~10秒
测量数据显示
累计值∑ 差分值△及柱形图
*大可测浓度
10,000,000个/m³
计数效率
50±20%（相对于*小可测粒径附近的PSL粒子） 100±10%（相对于*小可测粒径的1.5倍~2倍的PSL粒子） （符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
伪 计 数
<1个/35min
粒径分辨率
15%以下（相对0.3μm的PSL粒子） （符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
气 源
内置泵
显示器
4.3英寸彩色液晶 触摸屏
通迅功能
本 体
USB（Host用于打印机、USB存储；Device用于与PC链接） Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud）
数据存储
媒 体
内存
数量、格式
*大10,000个、CSV格式
显示语言
英文、日语
电 源
AC100~240V
使用环境
15~35℃、0~85%RH （无结露）
外形尺寸
W150 X H163 X D228 mm
重 量
3.4kg