白色点光源通过色散共焦探头后照射到目标上，光源中不同波长成分形成纵向分布；目标上的光点通过共轴光路返回后通过小孔光阑，接入到光谱仪中。当与目标的距离产生变化时，聚焦的光线的波长也会随之变化，在光谱仪中产生不同的光谱分布。可进行多层透明测厚、结构件平面度分析等。