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Model 单轴MEMS加速度计是低功耗、低噪音、低成本的集成加速度计。其内部包含了微机械电容传感单元、温度传感器、传感运放电路和差分输出电路，所有部件密封在一个迷你包装中。产品有L（QFN）和J（PLCC）两种封装形式。
特点：
密封电容、微机械化、氮化、防潮功能
低噪音、内部温度传感、±4V差分输出、全校准功能
技术
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量程
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±2g
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±5g
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±10g
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±25g
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±50g
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±100g
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±200g
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单位
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频率响应
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0 - 400
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0 - 600
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0 -1000
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0 -1500
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0 -2000
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0 - 2500
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0 - 3500
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Hz
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灵敏度
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2000
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800
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400
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160
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80
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40
|
20
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mV/g
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输出噪声
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5
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7
|
10
|
25
|
50
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100
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200
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u g/(root Hz)
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振动
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2000
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g
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其他参数
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参数
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*小值
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典型值
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*大值
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单位
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交叉轴灵敏度
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2
|
3
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%
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偏置标定误差
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-002
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2
|
4
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% of FSO
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-005 thru -200
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1
|
2
|
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偏置温漂
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-002
|
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100
|
300
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% of FSO
|
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-005 thru -200
|
|
50
|
200
|
|
非线性
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-002 thru -050
|
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0.3
|
0.5
|
% of FSO
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-100 & -200
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0.5
|
1.0
|
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比例因子校准误差
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1
|
2
|
%
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比例因子温漂
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+300
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ppm/°C
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电源抑制比
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25
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dB
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输出阻抗
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90
|
|
Ω
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工作电压
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4.75
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5
|
5.25
|
V
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工作电流
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10
|
14
|
mA
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重量
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0.62
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克
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