Michell Pura 上海赛甲电子科技有限公司

简单介绍

Michell Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的头个适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。 Michell Pura下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)

产品描述

Michell Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的头个适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。
Michell Pura下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)

亮点

测量下限 -120°C 露点 (1 ppb_V)

测量稳定，重复性好

高度集成的采样装置

模拟和数字输出

安装简便

VCR 过程接口

设计紧凑小巧

显示/报警单元可选

技术指标

传感器
传感器类型	密析尔陶瓷湿度传感器
量程	-120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)
精度	±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率	0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
压力	低 10-9 torr; 大 24 MPa
气体流量	1 ~ 5 Nl/min
电气
电源	通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , *大电流 25 mA
输出	4-20 mA 输出, 对应范围可由专用软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供) *大负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8)
输出出错状态	标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
机械性能
传感器套筒	不锈钢, 0.1-0.2 Ra µm 电镀内抛光
气路连接端口	Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口
安装配置	Premium 或 OEM 型: 120.00mm 长, 气路端口的端面密封. 无需预留管路空隙底座上有 2 个 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔, 斜对面横竖间距均为 20 x 20mm Michell Pura Sensor 型: 适用于用户提供的 ½" VCR 端口中
尺寸	Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量	Premium 或 OEM 型: 450g Michell Pura Sensor 型: 180g
包装	Michell Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 单层包装所有选配件: 独立包装运输 Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作

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