阀门微泄漏检测的基本原理是:在阀门处于半开半闭状态时向阀门内部通以规定压力的氦气,用已调节好漏率的带吸气探针的氦质谱检漏仪对中腔和填料函部位进行检测,看该部位是否满足用户所规定的漏率。
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