Trek 646 深圳市圣马电源技术有限公司

简单介绍

软件驱动静电夹头电源，输出电压范围为0至±3 kV

产品描述

Trek 646描述
Trek® 646 软件驱动的静电夹头电源提供了多种功能，能够满足各种要求高的应用需求。该仪器采用先进能源技术，其效率和吞吐量均为其他电源的三倍。Trek 646 多功能且值得信赖的性能允许在多种独特工具和工艺中使用，无需为设施内的每种独特工具或工艺指定新供应。

Trek 646特色

• 可锁定前面板控制界面
• 每台设备均附带NIST可追溯校准证书
• 支持库仑和约翰森-拉贝克电阻技术
• 上传并存储静电夹头配置文件到设备，并通过用户友好的软件界面内部存储
• 晶圆检测包括无晶圆、晶圆存在或晶圆夹持状态

Trek 646优点

• 减少背面气体错误，提高通量，消除硅片粘性/爆裂问题
• 控制参数，如过电流、晶圆存在和晶圆钳位阈值、钳位电压、偏移电压以及内部或外部幅度/偏移控制
• 调整过程中的振幅/偏移及输出控制灵活性
• 通过后面板I/O、串行计算机命令或前面板控制控制输出
• 配置自定义钳制和减铁灯序列及波形

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