产品名称：Navitar 自动对焦系统

• 采用三角单束激光测量的原理。

• 激光针对显微镜的目标区域，不断地测量和报告*佳聚焦距离，然后电路驱动运动平台在Z轴移动，实现快速聚焦。
• 能在几乎各种物体表面实现聚焦。

– 反射表面，漫射表面。
– 低反射的表面。(down to 1%)
透明和不透明的物体

Navitar 自动对焦系统广泛应用于以下领域：

• LCD TFT array inspection and repair
（液晶面板的检测和修复）
• - FPD color filter inspection and repair
（玻璃基板的检测和修复）
• - Photo-lithography mask inspection and repair
（掩膜的检测和修复）
• - Magnetic head inspection 磁头检测。
• - Silicon wafer inspection 晶圆的检测
• - CMM machines 自动机器的装配
• - Printed circuit board inspection 线路板的检测
• - Bio-tech HCS 生物医学仪器

Key Features
主要功能
• Accuracy 精度
– No manual corrections required after focusing。实现聚焦后，无需人工修正。
• Tracking AF capability 聚焦追踪
• Speed: （自动对焦速度）
– Zero focusing delay in tracking mode。在追踪模式没有延迟。
– 0.2 s maximum after objective change （小于0.2S)
– vastly improves equipment tact time 大幅提高设备操作时
间
• Broad AF Range 大范围自动对焦
– Relaxes chuck flatness requirements and thus reduces the instrumentation cost
• Slectively focuse on top or bottom surface of the array.
• Ideal for Cell & Module applications