產品名稱：Navitar 自動對焦係統

• 采用三角單束激光測量的原理。

• 激光針對顯微鏡的目標區域，不斷地測量和報告*佳聚焦距離，然後電路驅動運動平台在Z軸移動，實現快速聚焦。
• 能在幾乎各種物體表麵實現聚焦。

– 反射表麵，漫射表麵。
– 低反射的表麵。(down to 1%)
透明和不透明的物體

Navitar 自動對焦係統廣泛應用於以下領域：

• LCD TFT array inspection and repair
（液晶麵板的檢測和修複）
• - FPD color filter inspection and repair
（玻璃基板的檢測和修複）
• - Photo-lithography mask inspection and repair
（掩膜的檢測和修複）
• - Magnetic head inspection 磁頭檢測。
• - Silicon wafer inspection 晶圓的檢測
• - CMM machines 自動機器的裝配
• - Printed circuit board inspection 線路板的檢測
• - Bio-tech HCS 生物醫學儀器

Key Features
主要功能
• Accuracy 精度
– No manual corrections required after focusing。實現聚焦後，無需人工修正。
• Tracking AF capability 聚焦追蹤
• Speed: （自動對焦速度）
– Zero focusing delay in tracking mode。在追蹤模式冇有延遲。
– 0.2 s maximum after objective change （小於0.2S)
– vastly improves equipment tact time 大幅提高設備操作時
間
• Broad AF Range 大範圍自動對焦
– Relaxes chuck flatness requirements and thus reduces the instrumentation cost
• Slectively focuse on top or bottom surface of the array.
• Ideal for Cell & Module applications