流量传感器

AWM2000系列为无源器件，包含两个惠斯顿电桥：一个为闭环的发热控制电路，一个为双传感电路，图1，2 为用户需外加电路，图3 为推荐的输出信号放大电路。图1电路为发热控制电路，通过保持恒定的发热温度与变化的外界温度之差减小由于外部温度变化引起的误差，外界温度由芯片上相似的负温度系数电阻测得，这种模式还能减少由于气体浓度及成分变化产生的影响，这种变化可以改变热传导及传感元件的工作特性。图2 为传感桥供电电路,传统的惠斯通电路，传感器内含的传感元件组成了桥路的两个动态臂,输出电压随电源变化，当气流方向变化时，输出的电压极性也发生变化。 AWM2000 系列小流量 / 无放大气体流量传感器特点： ● 双向气流传感 ● 实际气体质量流量传感 ● 流速0~30sccm 到0~1000sccm ● 需另加发热器控制及传感桥路供电电路 AWM2100V技术规格：10.0 ± 0.01VDC ● 流量范围(刻度)：±200sccm ● 输出电压：30mV ● @标定��：@100sccm ● 零点漂移,type：+25 ~ -25˚C +25 ~ +85˚C ±0.2mV ● 输出电压漂移：+25～-25˚C +2.5% 读数； +25 ~ +85˚C -2.5% 读数 ● 重复性&迟滞 Max：±0.35% 读数 ● 电源（VDC）（1）：Min8.0 10± Typ0.01 Max15 ● 功耗（mW）：30 50 ● 零点电压（mV）：-1.0 ● 反应时间（ms）：1.0 ● 传感器电阻(KΩ)（1-2 脚, 1-6 脚）：5 ● 工作温度：-25-85˚C ● 储存温度：-40-90˚C ● 冲击(5drops,6axis)：100g 峰值
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