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日本YATAKA半导体制造用压力控制设备-进口压力调节器
关于半导体制造用压力控制设备
e-flow 高纯度气体压力调节器适用于半导体工厂，可提高高纯度，并尽可能抑制外部泄漏、颗粒和死区。
用于半导体工厂设施（设备）的气缸气穴、挂钩、阀体和设备制造商的集成单元，用于各种气体。
因为它是高度气密性的产品，它是特殊高压气体和有毒、腐蚀性和易燃气体的理想之选。

高纯度气体压力调节器阵容
L系列：接头对接焊接规格，产品采用外部密封金属结构。
R 系列; 本产品采用主体拧入（NPT）规格，外部软密封结构。 焊接规格为插入式焊接。
D系列：先导结构的带电子控制的压力调节器，是L、R系列和压力控制单元的组合产品。
U 系列; 主体切割的特殊规格，对接焊接规格，外部密封是金属密封结构。

关于潮汐方式和自由方式的调整阀

我们的标准规格是自由提升阀系统，但许多海外制造商采用潮汐隔膜结构。 由于结构不同，存在长处和短处，但高纯度对应时，自由式是无死区和气密性检查时无手柄操作的标准。L61系列（平面密封式高压大流量型）


L61系列（平面密封式高压大流量型）

功能
高压
焊接规格 金属垫片接头
调节阀结构
平面密封散装气体
兼容气体
非气体
标准流量
100～500NL/min




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