PVD-9500-5_真空计_SATOVAC佐藤真空PHIL
*オプション:ケーブル 3m,6m,12m/パネル取付金具(PM9321) 出力ケーブルBNCコネクター(PM9322)/電源3P-2Pアダプター(PM9324)
半導体圧力マノメーターセンサー作動原理
結晶に機械的な外力をあたえると結晶格子に歪みが生じ、ピエゾ抵抗効果により抵抗率が変化します。拡散型半導体圧力センサーではシリコンを加工した薄いダイヤフラム(受圧部)に拡散抵抗を形成してあります。ダイヤフラムに圧力が加わりたわむと応力が発生し、この応力の大きさに応じて拡散抵抗の抵抗率が変化��ピエゾ抵抗効果)することを利用しています。
この真空計は各方面の品質管理、真空乾燥や真空含浸などに広く利用できます。
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