EXAM，等离子腐蚀装置，SHINKO神港精机
产品特点：
ハードモード・ソフトモードの切り換えで、異方性エッチング及び等方性 エッチングを実現します。 広域ターボポンプを使用している為、広い圧力範囲でのエッチングが出来ます。 また、RFパワー，電極間距離，ガス流量などを、幅広く制御出来る装置です。 研究開発や小ロット生産に適しています。
【オプション】 ロードロック室 カセットｔｏカセット搬送
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