CHAMP，羽绒流程和2阶段灰化装置，SHINKO神港精机
产品特点：
マイクロ波ダウンフロー方式による、低ダメージ高スループットアッシング装置（ＣＨＡＭＰ）とマイクロ波ダウンフローチャンバーとＲＩＥチャンバーを組み合わせた高ドーズイオン注入後レジスト膜剥離用２ステップアッシング装置（ＤＲＥＡＭ）です
ダウンフローアッシング方式 マイクロ波により発生したプラズマの中のイオン及び電子を完全にトラップし、ラジカルのみを ステージ上のウェハ表面に導きアッシングさせる事により、チャージアップによるダメージを防ぎます
2ステップアッシング 高ドーズイオン注入等でダメージを受けたレジストに対し、２ステップ処理により無残渣でアッシング出来る画期的な方式です
１．ファーストステップ ダメージを受けたレジストの表面は、固い変質層になっており、先ずこの変質層を独自の方法で除去します
２．セカンドステップ 表面の固い変質層を除去した後の残ったレジストに対し、ダウンフロー方式により高速なアッシング処理をします
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