SWP,高密度等离子装置,SHINKO神港精机
产品特点:
石英表面に沿って表面波を伝播させ、プラズマ生成を行う事から、表面波プラズマ(SWP)と呼び、無磁場で高密度なプラズマを発生させる事が出来ます。 この表面波プラズマ技術により、大面積プラズマの形成が可能となり、大面積基板の高速エッチング・アッシング・クリーニング処理が可能となりました。
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