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产品资料

AAPIG-16110D,DLC薄膜形成装置,SHINKO神港精机

AAPIG-16110D,DLC薄膜形成装置,SHINKO神港精机
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  • 产品名称:AAPIG-16110D,DLC薄膜形成装置,SHINKO神港精机
  • 产品型号:AAPIG-16110D
  • 产品展商:神港精機株式会社
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简单介绍
AAPIG-16110D,DLC薄膜形成装置,SHINKO神港精机 AAPIG-16110D,DLC薄膜形成装置,SHINKO神港精机
产品描述

AAPIG-16110D,DLC薄膜形成装置,SHINKO神港精机

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产品特点:

標準Φ140×h400×12軸の基板に対し標準3μm(MAX10μm)のDLC薄膜を180分(うち成膜時間は60分)で作製する量産機です。

产品用途:

本装置は各種基板に耐腐食性、耐磨耗性及び平滑性に優れたDLC(ダイヤモンドライクカーボン)薄膜をプラズマCVD法により成膜する装置です。

プラズマ源に熱陰極PIGプラズマガン(独自特許)を使用し真空中でガスを活性化し反応させて高品質のDLC薄膜を作製できます。

 

 

 

国内免费咨询专线:4008-933-365

 

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