APIG-1060D，DLC薄膜形成装置，SHINKO神港精机
产品特点：
本機は、プラズマ源に熱陰極PIGプラズマガンを使用した研究試作用DLC薄膜形成装置です。 小形ながら量産機と同性能を有する試作機で、量産化展開への検討に適しています。
产品用途：
本装置は各種基板に耐腐食性、耐磨耗性及び平滑性に優れたDLC（ダイヤモンドライクカーボン）薄膜をプラズマCVD法により成膜する装置です。
プラズマ源に熱陰極PIGプラズマガン（独自特許）を使用し真空中でガスを活性化し反応させて高品質のDLC薄膜を作製できます。
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