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原位薄膜应力

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　　技术参数

　　1.扫描分辨率：2 μm ;

　　2.平均曲率分辨率：< 2e-5 (1/m) 1-sigma (50km radius) 1-sigma;

　　3.平均翘曲测量重复性：< 5e-6 (radians) 1-sigma;

　　4.平均曲率重复性：<2×10-5 1/m (1 sigma)

　　主要特点

　　1.程序化控制扫描模式：选定区域、多点线性扫描、**积扫描;

　　2.实时原位成像功能：样品表面2D曲率成像，定量薄膜应力成像分析;

　　3.实时原位测量功能：曲率、曲率半径、应力强度、应力和翘曲等;

　　4.支持装在各种真空沉积设备或表面处理设备上(如：MBE, MOCVD, sputtering, PLD, PECVD, and annealing chambers ects);