用途分类1 EE-SPY801/802
产品简介
依靠与导槽并用来设定落座位置,与晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂,防化学性能优越,但不是放水结构,采用欧姆龙**的光学结构,几乎可稳定检测所有晶圆片托架,采用强抗外部干扰光的变调方式,使用清洁导线(无粉尘)
产品详细信息
依靠与导槽并用来设定落座位置,与晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂,防化学性能优越,但不是放水结构,采用欧姆龙**的光学结构,几乎可稳定检测所有晶圆片托架,采用强抗外部干扰光的变调方式,使用清洁导线(无粉尘)