DH-40DP_真空干燥设备_SATOVAC佐藤真空PHIL DH-40DP
产品简介
DH-40DP_真空干燥设备_SATOVAC佐藤真空PHIL ■高真空・高温対応 全自動式真空乾燥・真空ベーキング装置 油拡散ポンプ排気系(×10-3Pa)…DH-DPタイプ真空乾燥器 ターボ分子ポンプ排気系(×10-4Pa)…DH-TPタイプ真空乾燥器
产品详细信息
DH-40DP_真空干燥设备_SATOVAC佐藤真空PHIL
用途
生産ラインでの各種電池・電極、半導体部品、精密・電子機器部品、電子材料、金属、セラミック、レーザー機器部品、プラズマ電極部品等の真空ベーキング処理に広く用いられています。
仕様
DHシリーズ型式
型式 | 槽内寸法(W×D×Hmm) | 棚段/ヒーター段 | 温調計(各段温調) | 排気系 | |
---|---|---|---|---|---|
DH-40 | DP | 400×400×400 | 3段/4段 | 4 | RP500L/min+DP6B |
TP | RP500L/min+TMP300 | ||||
DH-50 | DP | 500×500×500 | 4段/5段 | 5 | RP500L/min+DP6B |
TP | RP500L/min+TMP520 | ||||
DH-60 | DP | 600×600×600 | 4段/5段 | 5 | RP650L/min+DP6B |
TP | RP650L/min+TMP520 | ||||
DH-70 | DP | 700×700×700 | 4段/5段 | 5 | RP1500L/min+DP10B |
TP | RP960L/min+TMP900 | ||||
DH-80 | DP | 800×800×800 | 5段/6段 | 6 | RP1500L/min+DP14B |
TP | RP1500L/min+TMP1300 | ||||
DH-100 | DP | 1000×1000×1000 | 5段/6段 | 6 | RP1500L/min+DP14B |
TP | RP1500L/min+TMP2000 | ||||
DH-150 | DP | 1500×1500×1500 | 5段/6段 | 6 | RP3000L/min+DP22B |
TP | RP3000L/min+TMP3400 |
* 本型式表の仕様は基本的な項目のみです。お引合い内容に基づき詳細仕様お打合せ後お見積もりとなります。
DHシリーズ仕様
型 式 | DH-DP | 排気系:油回転真空ポンプ+油拡散ポンプ | |
---|---|---|---|
DH-TP | 排気系:油回転真空ポンプ+ターボ分子ポンプ | ||
方 式 | 加 熱 | 内部加熱方式(棚板または内面) | |
冷 却 | 真空放冷、N2強制循環冷却(オプション) | ||
性 能 | *高温度範囲 | 300℃~650℃ | |
到達圧力 | DH-DP:×10-3Paオーダー(ベークアウト後無負荷常温時) | ||
DH-TP:×10-4Paオーダー(ベークアウト後無負荷常温時) | |||
構 成 | 内装/外装 | ステンレス鋼:研磨(SUS304)/圧延鋼鈑:塗装 | |
扉/シール材 | 片開き: クランプ締結/バイトンOリング | ||
断熱材 | アルミナ・シリカブランケット/フランジ・扉Oリング部:水冷管付 | ||
加熱方式 | 内部ヒーターパネル加熱(棚板兼用または内面、シースヒーター付) | ||
温度制御方式 | プログラム温調計または定置温調計:PID制御 | ||
真空排気系*1 | 油回転真空ポンプ+油拡散ポンプ:DH-DP | ||
油回転真空ポンプ+ターボ分子ポンプ:DH-TP | |||
真空計 | B-Aゲージ電離真空計、ピラニ真空計、デジタル連成計 | ||
制御盤*2 | 架台組込型または自立型 | ||
操 作 | 運 転 | 自動/手動:切替スイッチで選択 | |
表 示 | 運転状態 | グラフィックパネルに機器系統、作動機器ON/OFF表示 | |
温 度 | LEDデジタル表示 | ||
温度パターン | プログラム温調計:30パターン、300セグメント | ||
機 能 | 真空排気 | シーケンサプログラムによる自動運転 | |
昇温/冷却*3 | 定置運転:設定温度で自動運転/タイマー設定で冷却スタート | ||
プログラム運転:入力パターンにより昇温/冷却 | |||
**装置:インターロック | 真空排気異常、過熱防止、モーター過負荷、冷却水量低下、作動エア圧力低下、漏電ブレーカー | ||
規 格 | 電 源 | 三相 200V 50/60Hz | |
冷却水 | 装置入口: 0.2MPa以上 30~60L/min | ||
エ ア | 装置入口: 0.5MPa以上 | ||
オプション | オイルクリーナーWSシリーズ、コールドトラップ |
*1. 高真空排気はクライオポンプでも可能です。
*2. 制御盤:内容積1m3 以下は架台組込型、1.2m3 以上は自立型。
*3. 定置温度制御:設定温度キープ時間は外部タイマー( 操作パネル面) で指定、タイマーアップで冷却工程スタート。
* その他各種仕様に合わせ製作いたします。
*2. 制御盤:内容積1m3 以下は架台組込型、1.2m3 以上は自立型。
*3. 定置温度制御:設定温度キープ時間は外部タイマー( 操作パネル面) で指定、タイマーアップで冷却工程スタート。
* その他各種仕様に合わせ製作いたします。
シリーズ |
槽内寸法 mm |
*高温度範囲 ℃ |
加熱方式 |
槽内到達圧力*1 Pa |
真空排気系 | 操作方式 | |
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DQ*2 | S | 300□~1000□ | 200 | 外部加熱 | ×101 | ― | 手動 |
P | 油回転真空ポンプ | ||||||
DN | 300□ | 200 | 外部加熱 | ×101 | ― | 手動 | |
DY | P | 400□~2000□ | 300~650 | 内部加熱 | ×101 | 油回転真空ポンプ | 自動 |
MP | ×100 |
油回転真空ポンプ メカニカルブースタ |
|||||
DH | DP | 400□~1500□ | 300~650 | 内部加熱 | ×10-3 |
油回転真空ポンプ 油拡散ポンプ |
自動 |
TP | ×10-4 |
油回転真空ポンプ ターボ分子ポンプ |
*2:DQシリーズでは*高温度350~650℃(内部加熱式)の自動操作仕様も製作可能です。
*その他各種仕様に合わせ製作いたします。
**免费咨询**:4008-933-365