微控扩散系统 微控扩散系统
产品简介
产品描述 : 设备应用于大规模集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域,适用2~6英寸工艺尺寸 产品详细描述: 1.关键件全部采用进口件,具有高可靠性。 2.采用高可靠性工业控制微机,对炉温、阀门、送料装置的进舟、退舟、停舟进行全自动控制,全部工艺过程实现自动化,具有高抗干扰能力。 3.具有良好的人机界面,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺参数。
产品描述 : 设备应用于大规模集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域,适用2~6英寸工艺尺寸 产品详细描述: 1.关键件全部采用进口件,具有高可靠性。 2.采用高可靠性工业控制微机,对炉温、阀门、送料装置的进舟、退舟、停舟进行全自动控制,全部工艺过程实现自动化,具有高抗干扰能力。 3.具有良好的人机界面,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺参数。