*大出力:960N *大速度:8.7M/S *大加速度:大于14G 可通过采用不同型号的光栅尺来获得高精度 定位精度:小于0.2μm
*大出力:960N
*大速度:8.7M/S
*大加速度:大于14G
可通过采用不同型号的光栅尺来获得高精度
定位精度:小于0.2μm