多轴运动平台 多轴运动平台

公司自主研制的0.1微米级精密运动平台及集成控制系统是微电子制造和测试设备的核心部件，也是生物医疗设备和精密制造业发展的关键部件，这些产品在以上领域的应用可以极大提高我国的制造水平，缩小和先进国家的差距。

类平台是以下行业的关键部件：
　　◇半导体、集成电路封装测试装备
　　◇生物工程科研设备
　　◇医疗诊断仪器设备
　　◇精密微型制造机械（MEMS）
高精度空气轴承（AirBearing）平台性能指标
　　◇分辨率: 10 nm (纳米)
　　◇重复性精度 : 50 nm
　　◇定位精度: 0.1 micron（微米）
　　◇*大加速度 :
　　◇*大速度: 500 mm/sec（毫米/秒）
　　◇设计行程:
高精度、高动态直线轴承平台(CrossRoller)性能指标
　　◇分辨率 : 50 nm (纳米)
　　◇重复性精度 : 250 nm
　　◇定位精度 : 1 micron（微米）
　　◇*大加速度 : 16 Gs（重力加速度）
　　◇*大速度 : 1000 mm/sec（毫米/秒）
　　◇行程 : <= 100x100 mm^2，因设计要求不同而可以定制