利用误差补偿技术，可以使三坐标测量机的测量不确定度明显下降，但是有一定极限，它主要受下列因素限制。
1）误差补偿只能针对模型中所涉及的误差进行补偿；
2）模型只能以一定的近似程度反映三坐标测量机的实际；
3）在多数情况下，鉴于经济方面的考虑采用非实时误差补偿，这时只能补偿机构误差中的系统误差，机构误差中的随机误差就未能补偿；
4）为了实现误差补偿，必须知道 三坐标测量机 的各项原始误差；
5）误差值的数据处理也会带来误差；
6）补偿软件或机构动态响应或机构执行误差带来的影响。
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