百格拉公司的三相混合式直线步进电机由导轨和滑块组成。运动前导轨和滑块间先通3.5个大气压的气体使其间有15 µm的气隙,滑块悬浮在导轨上方15 µm高度上。运动时就如同磁悬浮列车,靠磁场的变化来使滑块运动。磁场不变化时没有运动,磁场快速变化时滑块也相应快速运动。无高压气体时导轨和滑块间有很大的吸合力,可以省去抱闸。