o 仪器测量精度：在10nm处误差为±0.5nm； o 光学中心高度：75㎜； o 允许样品尺寸直径：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜； o 外形尺寸：730 x230X 290； o 主机重量：30kg；测量范围：1nm～4000nm； o 测量*小值：≤1nm； o 镀膜折射率范围：1.3 ~ 2.49 o 入射角：40°～90° 误差≤0.05°； o 偏振器方位角范围：0°～180°； 仪器测量精度：在10nm处误差为±0.5nm； 光学中心高度：75㎜； 允许样品尺寸直径：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜； 外形尺寸：730 x230X 290； 主机重量：30kg；偏振器步进角：0.0375°/步；本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分，外观参看右图。1、 光源：采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是：光强大、光谱纯、波长稳定性好。2、 接收器：采用光电倍增管⑤，把光讯号变为电讯号，经放大后输出至微机，由微机选择出消光位置的角度值。3、 主机部分：除以上两项外，还有起偏组件②，样品台③，检偏组件④。4、电子及通讯部分⑥：采集光强及对应的角度值并传输到计算机，再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。