典型应用包括: · 半导体行业的测量和生产设备 · 印刷电路版装配机械 · 超精密机械 · 高精度机床 · 计量机和比较仪、测量显微镜和其它精密测量装置 · 直接驱动
LIP系列超高精度光栅尺
· 玻璃陶瓷或玻璃光栅尺 · 干涉扫描,信号周期小
精度:+/-0.5微米(可按需提供更高精度等级)
信号周期:0.128um
测量长度:10mm至1440mm
LIF系列高精度光栅尺
· 带PRECIMET沾膜胶带 · 限位开关和回零轨
精度:+/-3微米
信号周期:4um
测量长度:70mm至1020mm
LIDA系列可选不同膨胀系数的基体
· 支持不同的光栅尺基体选择线性热膨胀系数 · 限位开关
精度:+/-5微米(可按需提供更高精度等级)
信号周期:20um
测量长度:240mm至3040mm
LIDA系列用于高速运动和大测量范围
· 钢带光栅尺穿入在铝壳中或粘贴在安装面上 · LIDA 400型带限位开关
精度:可达+/-5微米
信号周期:可达20um
测量长度:140mm至30米
PP系列二维光栅尺
· 二维共同扫描点 · 干涉扫描,信号周期小
精度:可达+/-2微米
测量范围:60 * 60 mm (可根据需要提供其他测量范围)