FAS-8016AMR_空气淋浴装置_AIRTECH埃尔泰克
エアーシャワー装置は清浄な状態で管理されたクリーンルーム内汚染を防止するため、人や搬入物の表面に付着した塵埃等の粒子をHEPAフィルターで清浄化された高速ジェットエアーにより入室前に除塵します。またプレルームとしての効果もあり、外気とクリーンルームとを遮断するエアーロック機能も有しています。
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