全自动硅片装片机 QT-2500-ZPJ 东莞市启天自动化设备有限公司

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产品名称：全自动硅片装片机，
产品型号：QT-2500-ZPJ
产品展商：启天科技
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简单介绍

全自动硅片装片机介绍：一、全自动硅片装片机型号:QT-2500-ZPJ 二、数量：一台三、工艺 1．目的：全自动硅片装片机设备功能为将方形硅片装入到片中,以供下一工艺使用。2．适用尺寸：156×156 (±0.5mm)、125×125(±0.5mm)；厚度为175～280μm的方形硅片。3．操作方式：全自动

产品描述

一、名称：全自动硅片装片机型号:QT-2500-ZPJ

二、数量：一台

三、工艺

1．目的：全自动硅片装片机设备功能为将方形硅片装入到片盒中,以供下一工艺使用。

2．适用尺寸：156×156 (±0.5mm)、125×125 (±0.5mm)；

厚度为175～280μm的方形硅片。

3．操作方式：全自动

四、设备环境要求

1．电源： 220V 1kW

2．洁净压缩空气：5~7 kg/cm²

五、主要技术参数

1．外形尺寸：1000（L）×900（W）×1500（H）（mm）

2．装片效率：单晶125：2500片/小时；多晶156：2200片/小时（人工换篮的速度为15秒内换两篮）

3．碎片率：单晶125：≤0.3/1000；多晶156：≤0.8/1000

4．工位数：双工位

5．设备兼容125×125 (±0.5mm)（5英寸）、156×156 (±0.5mm) （6英寸）两种规格的硅片，适用片盒为50层。

六、电气控制系统

1．**保护装置：

（1）原碎片检出并紧急停止功能。

（2）断路保护装置。

2．控制面板置于台面上，PLC控制，设备的工艺动作及各项工艺参数，可以通过触摸屏直接设置和操作，人机界面有程序过程

控制、故障报警、**保护等功能。

3．存片量：设备上料位一次*多可放八百片硅片，每四百片一叠，可自动切换。

全自动硅片装片机优势及改进：

1、成叠硅片的上料架采用圆滑材料，使成叠的硅片上下运动时不会造成崩边，保证硅片**。

2、吹气系统采用水平脉冲加垂直方式相结合的吹气结构，*大的适应了复杂的硅片状况，能可靠将潮湿的硅片吹开并且只需较小的气流，低强度的吹气保证了硅片的**。

2、抓料系统采用精密单臂机械手带动两个四抓吸盘（国内**），交替抓送料，相对SMC电动执行器拥有了更高的速度。

3、硅片入篮具时进行时间精密控制，使硅片未碰到篮具底部就停止，并采用同步带方式传送，使硅片在水平运行时平稳无上下抖动，入篮过程可以不碰撞篮具任何部位，所接触到部位为柔性材料，保护硅片不造成后续工艺碎片。

4、由于原硅片的碎片很难避免，可能影响到好片的传送，导致新的碎片，该系统具备碎片提前检测装置，一旦遇到碎片，停止机械手运行，保证了其他硅片的**，另外即使碎片流送到传送带上，光电传感器加程序分析也能及时告警，以保护其他硅片。

5、吸盘经过特殊处理，对硅片无任何有机物残留，即使制绒后也无任何痕迹。

6、入篮位加装模具导引结构（国内**），篮具即使变形只要齿间距是标准的均可用本机器装蓝，稳定可靠，即使某一片未装好也不会落下而影响到下一片的装载，大大降低了对篮具的标准度要求。

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