HEIDENHAIN 海德汉 敞开式直线光栅尺 海德汉全系列敞开式直线光栅尺
产品简介
敞开式光栅尺是专门为机械和那些特别需要高精度测量值的装置设计的。
产品详细信息
典型应用包括:
· 半导体行业的测量和生产设备
· 印刷电路版装配机械
· 超精密机械
· 高精度机床
· 计量机和比较仪、测量显微镜和其它精密测量装置
· 直接驱动
LIP系列超高精度光栅尺
· 玻璃陶瓷或玻璃光栅尺
· 干涉扫描,信号周期小
精度:+/-0.5微米(可按需提供更高精度等级)
信号周期:0.128um
测量长度:
LIF系列高精度光栅尺
· 带PRECIMET沾膜胶带
· 限位开关和回零轨
精度:+/-3微米
信号周期:4um
测量长度:
LIDA系列可选不同膨胀系数的基体
· 支持不同的光栅尺基体选择线性热膨胀系数
· 限位开关
精度:+/-5微米(可按需提供更高精度等级)
信号周期:20um
测量长度:
LIDA系列用于高速运动和大测量范围
· 钢带光栅尺穿入在铝壳中或粘贴在安装面上
· LIDA 400型带限位开关
精度:可达+/-5微米
信号周期:可达20um
测量长度:
PP系列二维光栅尺
· 二维共同扫描点
· 干涉扫描,信号周期小
精度:可达+/-2微米
信号周期:4um
测量范围:60 *