摘要：汽车应用目前仍是MEMS压力传感器的*大应用市场，其中主流应用包括胎压感测系统（TPMS）、进气压力感测装置（MAP）以及大气**压力感测装置（BAP）。YoleDeveloppement指出，汽车、医疗、工业与**应用MEMS压力传感器市场，平均成长率约在4~7%左右，同时消费性应用市场的平均成长率（金额规模）则高达25%（出货量成长率则为38%），主要受惠于智能手机与平板设备所带来的新商机。MEMS压力传感器也在不同领域找到一些新应用，这些案例包括：车用汽缸内压力感测（in-cylinderpressuresensing）、医疗用持续正压呼吸器（ContinuousPositiveAirwayPressure，CPAP），以及智能手机、平板设备等消费性新应用（如SamsungGalaxySlll的室内导航功能）；以上新兴应用都还在起步阶段，不过看来都有成长潜力，YoleDeveloppement相信，MEMS压力传感器将在各个领域找到满足终端使用者需求的新发展途径。MEMS压力传感器是*早出现在电子产品中的MEMS元件之一，以消费性电子领域的应用为主流，并依循类似加速度传感器

摘要：MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新科技，其研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微系统三个方面，目前主导MEMS市场的传感器已形成产业。用此技术研制的五花八门的微传感器具有体积小、质量轻、响应快、灵敏度高、易生产、成本低的优势，可以测量各种物理量、化学量及生物量。在市场引导、科技推动、风险投资、政府介入等多重作用下，汽车MEMS传感器发展迅速，现已成为相关部门争先投资开发的热点。在**汽车中，大约采用25至40只MEMS传感器，技术上日趋成熟完善，可满足汽车环境苛刻、可靠性高、精度准确、成本低的要求，极大地推动了电子技术在汽车上的应用。二、压力传感器汽车电子控制系统一直被认为是MEMS压力传感器的主要应用领域之一，可用于测量进气歧管压、大气压、油压、轮胎气压等。***的汽车MEMS压力传感器采用压阻式力敏原理，这是现有几种力敏传感器中用量*大的一种，开发出几代产品，年产量为数千万只。这种传感器用单晶硅作材料，以MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片，然后在膜片上扩散杂质形成4只应变电阻，再以惠斯顿电桥方式将应变电阻连接成电路，来获得高灵敏度

睡眠好的人永远体验不了**的痛苦。日常生活中，由于各种原因会导致睡眠质量的下降，影响人们的生活质量，降低工作效率。为此，研究分析得出，压力传感器对于人们睡眠质量能够进行数据分析，并将其转换成合适的音乐形式，促进睡眠。压力传感器本事无法促进睡眠，我们只是将压力传感器放在床垫地下，由于压力传感器具有高灵敏度，当人发生翻身、心跳以及呼吸等有关的动作时，传感器会分析这一系列信息，去推断睡眠人睡觉处于一个什么状态，然后通过对传感器的分析，收集传感器的信号得到心跳和呼吸节奏等睡眠的数据，*后将所有数据处理谱成一首段的曲目，当然能将你一个晚上的睡眠压缩成一首几分钟的音乐。现在有很多人在研究睡眠分析，睡眠分析是一款以自然为主的应用程序。我们将压力传感器与这种程序相结合就能了解我们睡眠的情况，对这些信息进行深入分析就能找到我们**的原因，从而得到有效的缓解**。

用微机械加工技术制造的典型产品是硅微型压力传感器，对此美国日本和欧洲均已形成产业。硅微型压力传感器近几年来发展很快，该传感器主要应用于汽车工业和医疗保健领域。硅微型压力传感器的特点是体积小，重量轻，没有活动部件，可靠性高，又能大规模生产该传感器，所以造价低。高可靠性，低成本对于汽车工业的要求可以说是非常适合的，因此在汽车工业中迅速扩展了它的应用领域。如自动刹车系统的压车面压力，轮胎压力，气囊压力，传动系统流体压力，注入系统流体压力，注入燃料压力，发动机机油压力。进气管道压力都有硅微型压力传感器额用武之地。LUCASNOVASENSOR公司甚至采用微机械加工技术开发了一种能直接埋入轮胎的压力传感器。它能在汽车轮胎压力很低或轮胎在跑气时向司机报警。全世界汽车每年的生产量高达几千万辆，因此这是一个极有前途的市场。硅微型压力传感器在医疗保健领域里的*大应用产品是血压监视器。据称一些大的医疗机械制造上每年要使用近500万只压力传感器。此外，如妇女难产时监控**压力用的硅微型压力传感器，静脉注射监控药液流动的传感器等都是有相当数量的市场需求。其他许多医疗保健方面的应用也正在不断开发中。硅微型压力传

一种可抗2000℃瞬时超高温冲击的硅隔离耐高温压力日前在西安交大精密工程研究所研制成功。专家认为，这一国家"863"计划项目的完成，能够解决我国多领域的技术难题。新型压力传感器的问世，将有效解决我国航空航天、石油化工、汽车工业等领域高温环境下，压力测量和瞬时高温冲击下传感器失效的技术难题，打破了国外同类产品对我国传感器市场的垄断，提升了我国这一行业的整体水平和国际竞争能力，具有很高的推广和使用价值。常规的硅压力传感器只能120℃以下进行压力测量，超过120℃时，传感器的性能会严重恶化以至失效。常规的测量方法和手段不能满足高温等恶劣环境下的压力测量和自动化领域越来越高的测量精度要求，致使我国高温压力传感器产品长期以来主要依赖进口。西安交大研制的耐高温压力传感器能在-30℃～250℃环境下进行压力测量，可完成1000Mpa以下任意量程范围的压力测量，能承受2000℃瞬时高温冲击。可满足高温、高压、高频响及瞬时高温冲击等恶劣环境下的压力测量，具有自主知识产权，填补了国内在此领域的多项空白，对于推动我国仪器仪表工业的发展，培养新的经济增长点具有重要意义。

　　随着汽车行业燃油经济性的要求日益提高以及排放标准越来越严格，越来越多的系统应用到汽车当中，例如进气/尾气管理系统、燃油蒸汽管理系统、刹车助力系统、柴油颗粒滤清系统等。这些系统都需要借助压力传感器快速准确获得的压力信息来确定系统的状态和下一步的动作。迈来芯公司在压力传感器的研发和生产上积累了多年的经验，其集成的压力传感器系列能够根据客户应用的要求提供不同工作模式、不同量程范围的芯片。迈来芯将MEMS工艺和CMOS工艺集成到同一个芯片上，实现了从压力传感到信号处理整个流程的单芯片解决方案。应用如下：1、随着汽车行业燃油经济性的要求日益提高以及排放标准越来越严格，越来越多的系统应用到汽车当中，例如进气/尾气管理系统、燃油蒸汽管理系统、刹车助力系统、柴油颗粒滤清系统等。这些系统都需要借助压力传感器快速准确获得的压力信息来确定系统的状态和下一步的动作。迈来芯公司在压力传感器的研发和生产上积累了多年的经验，其集成的压力传感器系列能够根据客户应用的要求提供不同工作模式、不同量程范围的芯片。迈来芯将MEMS工艺和CMOS工艺集成到同一个芯片上，实现了从压力传感到信号处理整个流程的单芯片解决方案。2

　　据不完全统计，传感器种类有3万种，流量传感器、压力传感器、温度传感器的市场规模*大，分别占到整个传感器市场的21%、19%和14%。传感器市场的主要增长来自于无线传感器、MEMS（微机电系统）传感器、生物传感器等新兴传感器。下面我们来总结一下在医疗行业中传感器的应用情况：1、应用于医用呼吸机的湿度传感器，有助于输送温湿空气，使病人感觉舒适，当水份引入气流时，必须予以监测和控制。2、应用于输液泵的触力传感器，以确保输送药液给病人的输液泵和胰岛素泵的管道畅通无阻。3、应用于医院诊断用器械的传感器，如气流传感器用来规范气相色谱仪的气流速度，触力和位置传感器控制实验室自动机器人。压力传感器用于泵系统，速度传感器控制离心机的转速，温度传感器则控制样品和厢室的温度等。4、用于气相色谱仪的气流传感器，医用色谱仪需要准确无误地监测和调控气体的流动。由于传感器中的陶瓷气流管路可避免释气现象，因而能增进色谱仪的**性和可靠性。5、用于血细胞分析仪的红外传感器，红外传感器用于血细胞分析仪时，可与泵轴上的编码器合并使用，以计算泵轴的转动数，当不透明的物体经过封装间隙阻碍红外线的通路时，传感器即可察觉。6、

　　传感器趋于小型化、廉价化物联网是指通过二维码识读设备、射频识别(RFID)装置、红外感应器、全球定位系统和激光扫描器等信息传感设备，按约定的协议把任何物品与互联网相连接，进行信息交换和通信，以实现智能化识别、定位、跟踪、监控和管理的一种网络。由此看来，物联网的发展离不开传感设备的发展。目前，几乎没有人愿意花50美元(约305元人民币)去买一个烟盒大小的传感器来把家里的家具整合到他们的“智能家居”当中去。然而，如果这一传感器变得只有纽扣大小，而且仅花1美元时，情况就大大不同了。传感器正变得越来越小，越来越低廉，也越来越稳定;随着传感器技术的进步，即使是看似平凡的日常用品如桌椅等也将可能被连入互联网。它们会变得更加“智能”，能通过对温度、光、距离、压力等参数的监测告知我们周围环境的变化。同时，它们不仅各自独立工作，更进行着机器到机器间(M2M)通信，在已联网的设备间自动进行着数据交换。目前，M2M已经被应用于各行各业：导航公司用它来优化车辆路线，个人因此得以使用包裹跟踪服务等等。这一以特定状态监测和信息共享为特征的网络解决方案已在我们日常生活中占有越来越重要的作用。随着传感器技术的发展

非接触式温度传感器是指它的敏感元件与被测对象互不接触，又称非接触式测温仪表。这种仪表可用来测量运动物体、小目标和热容量小或温度变化迅速(瞬变)对象的表面温度，也可用于测量温度场的温度分布。*常用的非接触式测温仪表基于黑体辐射的基本定律，称为辐射测温仪表。在自动化生产中往往需要利用辐射测温法来测量或控制某些物体的表面温度，如冶金中的钢带轧制温度、轧辊温度、锻件温度和各种熔融金属在冶炼炉或坩埚中的温度。在这些具体情况下，物体表面发射率的测量是相当困难的。测量上限不受感温元件耐温程度的限制，因而对*高可测温度原则上没有限制。对于1800℃以上的高温，主要采用非接触测温方法。随着红外技术的发展，辐射测温温度传感器逐渐由可见光向红外线扩展，700℃以下直至常温都已采用，且分辨率很高。近些年来，由于人们家庭及办公场所对节能的意识不断提高，在节能的同时还致力于实现舒适生活的智能家居，以及为必要的地方提供必要亮度的照明，并可实现节能与舒适性两全其美的应需环境照明等的智能办公室已经过研究阶段进入了验证实验的阶段。其中，作为掌握人数及人物所处位置的关键件，传感器的需求正在不断高涨。由于普遍用于人感传感器的

由于国际金融危机对我国实体经济造成的影响进一步加深，目前我国自动化行业已陷入低谷，国产传感器在感知信息、智能化和网络化方面与******相比技术落后，我国应加大传感器研发力度，为仪器仪表产品提供支撑。 一是加快研制新型传感器。分析仪器是我国科技、经济和社会持续发展的基础，工业过程控制、设施农业、生物医学、环境控制、食品**乃至航空航天、国防工程等领域迫切需要各类新型传感器作为信息摄取源的小型化、专用化、简用化、家庭化的新一代分析仪器，实现更灵敏、更准确、更快速、更可靠的实时检测，以迅速改变我国分析仪器的落后状况。 二是加快技术发展，推动传感器技术进步。几十年来，微电子技术的进步促进了传感器技术的发展。未来10-20年传统硅技术将进入成熟期，届时，直径300mm硅晶片将大量用于生产，使得硅的低成本制造技术和硅的应用技术得到**发展，将为研制生产微型传感器、智能传感器等新型传感器提供技术保障。从总体发展看，传统硅技术将一直延续到2047年才趋于饱和。 而当前微电子技术仍将依循"等缩比原理"和"摩尔定律"两条基础规律走下去，在尽力逼近传统硅技术极限中，不断扩展硅的跨学科横向应用和突破"非稳态

　　近年来，传感器朝着灵敏、**、适应性强、小巧和智能化的方向发展。在这一过程中，光纤传感器这个传感器家族的新成员倍受青睐。光纤传感器是近年发展起来的基因快速检测新技术，可用于各种**检测，抗原抗体相互作用检测等，是生物物理技术发展的一个重要领域。光纤传感器分析师指出：光纤具有很多优异的性能，几乎涉及国民经济和国防上所有重要领域和人们的日常生活，尤其可以**有效地在恶劣环境中使用，解决了许多行业多年来一直存在的技术难题，具有很大的市场需求。相关数据显示，从2012年到2017年间，全球光纤传感器(包括点分式和分布式)消费值的平均年增幅高达20.3%，其年消费值将从2012年的15.8亿美元增长至2017年的39.8亿美元。在光纤传感器快速普及的背景下，我国多个行业也开始广泛应用光纤传感器，使得这一产品具有极大的市场发展空间。在石油和天然气、航天航空、生物医学中将被大量应用。此外，光纤传感器可预埋在混凝土、碳纤维增强塑料及各种复合材料中，用于测试应力松驰、施工应力和动荷载应力，从而评估桥梁短期施工阶段和长期营运状态的结构性能。主要作为城市建设中桥梁、大坝、油田等的干涉陀螺仪和光栅压力传感

近年来随着物联网、智能手机、汽车电子、医疗电子等产业的快速发展，传感器产业进入快速发展阶段。物联网、智慧城市将是传感器*主要的应用市场之一，其应用将渗透于未来生活的各个层面。 2013年初，国务院发布了《关于推进物联网有序健康发展的指导意见》，明确提出推进物联网与新一代移动通信、云计算、下一代互联网、卫星通信等技术的融合发展，使之成为产业转型升级和技术**的突破口。无论物联网还是智慧城市健康发展，均需要具备4大特征：**透彻的感知、宽带泛在的互联、智能融合的应用以及以人为本的可持续**。其中感知需求被列为首位，因为只有通过传感技术，实现了对城市等相关各个层面的监测，才有可能实现后面的智能识别、广泛互联、**调用、智能处理等。 但是目前国产传感器仍存在稳定性、可靠性和一致性差，关键共性基础技术研究长期缺失；产业化问题未能得到很好解决，难以实现批量生产；经营模式、市场机制不活，市场推广应用难度大，难以发挥资源、人才优势等问题。 要解决这些问题就需要从国家政府层面协调处理：统筹我国传感器产业布局；注重与国家重大专项与重点工程衔接；加强政府各部门之间的沟通协商；推动“官产学研用”协同**；发挥