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AWM40000系列气体质量流量传感器包括不带放大和放大信号处理的信号。AWM42150V 和AWM42300,使用和AWM2000气体质量流量传感器相同的电路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000气体质量流量传感器相同的电路。AWM43600V气体质量流量传感器为6SLPM 器件。
图1 WM43300V气体质量流量传感器发热控制电路
图2 WM43300V气体质量流量传感器传感桥路供电电路
AWM40000系列气体质量流量传感器选型指南:
AWM42150VH
AWM42300V
AWM43300V
AWM43600V
流量范围(满量程)
±25sccm
±1000sccm
+1000sccm
+6LPM
输出电压@ 标定点
8.5±1.5mV @25sccm
54.7±3.7mVDC @1000sccm
5±0.15VDC @1000sccm
5±0.15VDC @6LPM
零点电压
0.0±1.0 mV DC
1.00±0.05VDC
零点漂移+25~-25˚C +25~85˚C
±0.20mV DC
±0.025VDC
输出电压漂移+25~-25˚C +25~+85˚C
+2.5% 读数(典型值) -2.5% 读数(典型值)
±2.5% 读数(*大值) +6% 读数(*大值)
-5% 读数(*大值) +6%读数(*大值)
-5% 读数(*大值) +6% 读数(*大值)
重复性& 迟滞
±0.35% 读数
±1.00% 读数
±0.5% 读数
压降@ 满量程(in H2O)
1.50(典型值)
1.02(典型值)
8.00(典型值)
Min Typ. Max.
电源(VDC)
8.0 10±0.01 15 (2)
功耗(mW)
50 60
反应时间(ms)
1.0 3.0 (1)
共模压力(psi)
150
输出负载
NPN(电流沉):10mA PNP(电流源):20mA
标定气体
氮气(AWM42150VH 为氢气)
比率变化量
±0.3% 读数
工作温度
-25~85C
储存温度(˚C)
-40~90C
冲击
100g 峰值(5drops,6axis)
注:1、从10%~90% 反应时间一般1 毫秒2、输出电压随电源电压而比率变化3、重复性和迟滞反应了测量设备的内在精度4、*大的防止损坏的流量变化量:5LPM/1.0sec
WM43300V气体质量流量传感器安装尺寸(仅供参考):