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AWM5104VN AWM5104VN AWM5104VN
AWM5104气体质量流量传感器具有坚固，通用的封装形式；
AWM5104气体质量流量传感器具有的坚固，塑料的封装能够承受50psi的共模压力，内部的小型传感芯片能允许100 克的冲击在额定指标下，两个测量孔是单独模件，可在*小的模具花费下根据实际更改，插入式AMP 连接器提供十分可靠的连接。
AWM5104气体质量流量传感器具有内置的信号处理电路；
AWM5104气体质量流量传感器产品包括含放大` 线性修正` 温度补偿和气体标定，气体标定通过激光校整得到。
图1 是AWM5104气体质量流量传感器发热器控制电路：
图2 是AWM5104气体质量流量传感器传感桥电路和放大线性电路：
AWM5000系列气体质量流量传感器技术规格：
AWM5101
AWM5102
AWM5103
AWM5104
流量范围
0-5 SLPM
0-10 SLPM
0- 15 SLPM
0-20 SLPM
后缀-标定气体
VA-氩气（Ar）VC-二氧化碳（CO2）VN-氮气（N2）
Min Typ Max
推荐供电电源VDC
8.0 10±0.01 15
功耗（mW）
100
反应时间（mA）
60
零点输出VDC
0.95 1.00 1.05
零点漂移，VDC -20~70˚C
±0.050 ±0.200
*大共模压力psi
50
温度范围
-20~+70˚C
冲击指标
100g 峰值，6ms 半正弦(3drops,3 的每一方向）
输出@ 较整点
5VDC@ 满量程流量
压差@ 满量程
参照压力& 气流表
满量程输出漂移+20˚~-25˚C +20˚~70˚C
后缀VA 或VN ±7.0% 读数，VC ±10.0% 读数
线性误差
±3.0% 读数
迟滞& 重复性
±0.5% 读数
连接器（4pin receptacle)
AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143）
泄漏 max
0.1psi/min,在静态中
注：1、AWM5104气体质量流量传感器供电电压除10.00±0.01VDC 外，不保证标定值。
2、AWM5104气体质量流量传感器线性误差适用于2-100% 满量程，但不适用0 LPM 时零输出
3、在50psi 内压下，AWM5104气体质量流量传感器每分钟泄漏小于0.1psi，如果安装时，相对于流量管的连接器被扭转，将会破坏O 形圈和流量管之间的密封，引起暂时汇漏，可高达1psi，也可能在指标内，换上新O 形圈后，密封恢复，大约85% 的泄漏在24 小时内消除，48 小时内，可完全恢复。
AWM5104气体质量流量传感器安装尺寸：