SHINKO神港精机 AAMF-C1650SPBR 深圳岩濑商业股份有限公司

AAMF-C1650SPBR，真空装置，SHINKO神港精机

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产品名称：AAMF-C1650SPBR，真空装置，SHINKO神港精机
产品型号：AAMF-C1650SPBR
产品展商：神港精機株式会社
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简单介绍

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产品描述

AAMF-C1650SPBR，真空装置，SHINKO神港精机

产品特点：

ウエハプロセス用として、特に化合物半導体向け配線膜形成用途を目的として、
設計開発されたリフトオフプロセス用高真空蒸着装置です
電子銃蒸発源と移動式抵抗加熱蒸発源を装備し、冷却効果の高い特殊基板冷却機構を
装備しているため、高品質でリフトオフ性に優れた薄膜作製を実現します本機は、６連式電子銃および移動式抵抗加熱蒸発源３対を備え、１０-6Ｐａの高真空中で蒸着が行なえます。
特殊基板冷却機構の採用により、Auを５００ｎｍ蒸着したときの基板温度は５０℃以下です

国内免费咨询专线：4008-933-365

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