AAMF-C2280SPBR，真空装置，SHINKO神港精机
产品特点：
本機は、6連式電子銃蒸発源および抵抗加熱蒸発源4対を有し、自公転治具による多量生産が可能です また、抵抗加熱源が回転移動方式のため、真空槽内部の省スペースを実現しております また、基板（ウエハー）を５００℃まで昇温可能ですので、合金炉に移しかえることなく、合金化が可能です オプションにて、パソコンによるプロセス管理およびデータロギング等も行えるマルチ機能型蒸着装置です
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粤公网安备 44030902000469号
