SRV3300，小型溅射装置，SHINKO神港精机
产品特点：
RV3000シリーズスパッタリング装置は、本体・操作盤・排気ポンプ等の全てを一体化し、省スペース化を実現しております。また、小型で有りながらΦ75mmカソードを３元備え、容易に多層膜が形成できます。
基板加熱、基板回転、逆スパッタ（オプション）も行えるため、広範囲な目的にご使用いただけます
产品用途：
研究開発用に標準化された平行平板タイプのバッチ型スパッタリング装置です SRV3000シリーズは、大学あるいは研究機関等での基礎研究実験に適し、優れた成膜性能に加えコストパフォーマンスに徹した装置設計となっています。 上位機種である、SRV4000、SRV6000 の各シリーズもご用意しており各種装置構成のコンパクト化を追求し、小型省スペースを実現しております。 また、主排気ポンプおよび電源等のあらゆる機構・機能を各種選択する事によりお客様のニーズにお応えします
国内免费咨询专线：4008-933-365
粤公网安备 44030902000469号
