SHINKO神港精机 SRL3320 深圳岩濑商业股份有限公司

SRL3320，小型溅射装置，SHINKO神港精机

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产品名称：SRL3320，小型溅射装置，SHINKO神港精机
产品型号：SRL3320
产品展商：神港精機株式会社
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简单介绍

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产品描述

SRL3320，小型溅射装置，SHINKO神港精机

产品特点：

本機は、SRV3300型にロードロック室を加え、スパッタ室の真空を破ることなく試料を出し入れすることが出来る装置です。
成膜室の高真空保持により、膜質の追求と処理効率のアップを実現します。

产品用途：

研究開発用に標準化された平行平板タイプのバッチ型スパッタリング装置です。
SRV3000シリーズは、大学あるいは研究機関等での基礎研究実験に適し、優れた成膜性能に加えコストパフォーマンスに徹した装置設計となっています。
上位機種である、SRV4000、SRV6000 の各シリーズもご用意しており各種装置構成のコンパクト化を追求し、小型省スペースを実現しております。
また、主排気ポンプおよび電源等のあらゆる機構・機能を各種選択する事によりお客様のニーズにお応えします。

国内免费咨询专线：4008-933-365

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