SDL5321，卢德锁式溅射装置，SHINKO神港精机
产品特点：
本機は、Φ100mmカソードを３元設けているため、多層膜が形成でき Φ250mm内±10％以下の膜厚分布を実現しております。 搬送室および成膜室は常時真空保持されますので、スループットの短縮が可能な、省スペース型ロードロック式スパッタリング装置です。 タッチパネルの採用により、リアルタイムでプロセス確認が行えます。
产品用途：
本機は、省スペースを実現したロードロック式スパッタリング装置です。 カセット室に*大Φ２7０のトレーが、標準で12枚セット可能で、連続スパッタリングが行えます。
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粤公网安备 44030902000469号
