适用于各种苛求微细精密、敏感无损、干净平齐的应用,适用于蓝宝石、陶瓷、硅片、玻璃等薄、脆、硬性材料,金属、高分子等热敏感材料及各种粘、皮、韧性材料的表面图形加工及切割加工。
产品特点:
冷切去除,皮秒级时间能量释放,材料无受热变性之虞;
定深去除,原子级反应,控制加工深度几乎不受材料种类限制;
清净去除,生成物呈离子态被收集,被加工面保持材料本色;
**机台,精密移动与定位,快速装卡与上下料;
专业软件,应用经验的表达,智能工程数据处理,易快设备操控。
工业应用系列技术参数:
波长: 355nm,532nm,1064nm可选,标配为1064nm
脉宽:<15ps<>
重复频率:10KHz~1MHz
扫描系统:全数字系统
分辨率:<0.5<>μm
X/Y/Z轴:伺服控制系统
分辨率:1μm
重复精度:±2μm
工作台尺寸:600mm x 600mm
加工区域:500mm x 500mm
设备重量:约2.5T
外形尺寸:2050mm(长)x1700mm(宽)x1800mm(高)
电源:380VAC,3P+N+PE,8KW
CCD自动对位
全波长输出类型技术参数:
波长:1064nm,532nm,355nm
脉宽:<15ps
工作台尺寸:400mm x 450mm
加工区域:350mm x 400mm
外形尺寸:2340mm(长)x1500mm(宽)x1900mm(高)
电源:380VAC, 3P+N+PE,8KW