AWM5104VN AWM5104VN
产品简介
AWM5104气体质量流量传感器特点:● 各种流量接口可选 ● 文丘里管设计 ● 远程安装 ●激光校整CO2,N2 氩气的标定。AWM5104VN AWM5104VN AWM5104VN AWM5104VN
产品详细信息
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AWM5104气体质量流量传感器具有坚固,通用的封装形式;
AWM5104气体质量流量传感器具有的坚固,塑料的封装能够承受50psi的共模压力,内部的小型传感芯片能允许100 克的冲击在额定指标下,两个测量孔是单独模件,可在*小的模具花费下根据实际更改,插入式AMP 连接器提供十分可靠的连接。
AWM5104气体质量流量传感器具有内置的信号处理电路;
AWM5104气体质量流量传感器产品包括含放大` 线性修正` 温度补偿和气体标定,气体标定通过激光校整得到。
图1 是AWM5104气体质量流量传感器发热器控制电路:
图2 是AWM5104气体质量流量传感器传感桥电路和放大线性电路:
AWM5000系列气体质量流量传感器技术规格:
|
AWM5101 |
AWM5102 |
AWM5103 |
AWM5104 |
流量范围 |
0-5 SLPM |
0-10 SLPM |
0- 15 SLPM |
0-20 SLPM |
后缀-标定气体 |
VA-氩气(Ar)VC-二氧化碳(CO2)VN-氮气(N2) | |||
|
Min Typ Max | |||
推荐供电电源VDC |
8.0 10±0.01 15 | |||
功耗(mW) |
100 | |||
反应时间(mA) |
60 | |||
零点输出VDC |
0.95 1.00 1.05 | |||
零点漂移,VDC -20~70˚C |
±0.050 ±0.200 | |||
*大共模压力psi |
50 | |||
温度范围 |
-20~+70˚C | |||
冲击指标 |
| |||
输出@ 较整点 |
5VDC@ 满量程流量 | |||
压差@ 满量程 |
参照压力& 气流表 | |||
满量程输出漂移+20˚~-25˚C +20˚~70˚C |
后缀VA 或VN ±7.0% 读数,VC ±10.0% 读数 | |||
线性误差 |
±3.0% 读数 | |||
迟滞& 重复性 |
±0.5% 读数 | |||
连接器(4pin receptacle) |
AMP(103956-3)或MICROSWITCH(SS12143) | |||
泄漏 max |
0.1psi/min,在静态中 |
注:1、AWM5104气体质量流量传感器供电电压除10.00±0.01VDC 外,不保证标定值。
2、AWM5104气体质量流量传感器线性误差适用于2-100% 满量程,但不适用0 LPM 时零输出
3、在50psi 内压下,AWM5104气体质量流量传感器每分钟泄漏小于0.1psi,如果安装时,相对于流量管的连接器被扭转,将会破坏O 形圈和流量管之间的密封,引起暂时汇漏,可高达1psi,也可能在指标内,换上新O 形圈后,密封恢复,大约85% 的泄漏在24 小时内消除,48 小时内,可完全恢复。
AWM5104气体质量流量传感器安装尺寸: